1986 年，Edwards 成為工業干式真空泵的先驅，現在，已在全球范圍內銷售了 150,000 多套系統，Edwards 多年積累的經驗豐富技術，為開發能夠經受較嚴苛制程應用考驗的干泵打下了堅實的基礎。
CXS 采用考慮到簡易性和可靠性的創新螺釘設計，并采用了“即插即泵”理念。因此，CXS 具有業內先進的可靠性、~性，且運行成本較低。
| 較大抽速 | 160 m3h-1/ 95 ft3min-1 |
| 10 mbar (7.5 Torr) 時的容量 | 132 m3h-1/78 ft3min-1 |
| 極限真空 | <0.02 mbar / <0.015 Torr |
| 較大背壓 - 標準 | 1,200 mbar/2.7 psig |
| 10 mbar (7.5 Torr) 時的功耗 | 3.6 kW/4.8 hp |
| 標準電機 | |
| （200 - 230V ±10%，3 相，50/60 Hz） | 7.5 kW |
| 標準電機 | 10 hp |
| （380 - 460V ±10%，3 相，50/60 Hz） | |
| 冷卻水流速（可調） | 4 - 10 lmin-1 / |
| 1.1 - 2.6 galmin-1 | |
| 冷卻水溫度 5 - 25 oC (41 - 77 oF)（T160 安裝） | 5 – 35oC / |
| 41 – 95oF | |
| 較大冷卻水供給壓力 | 6.9 barg / 100 psig |
| 冷卻水供給壓力差 | 1.6 - 5.5 bar / 23 - 80 psi |
| 密封吹掃流量（較大） | 12 std slm / |
| 0.424 std ft3min-1 | |
| 密封吹掃供給壓力（較小 - 較大） | 2.5 -6.9 barg / 36 - 100 psig |
| 噪音（帶消音器時的較大值） | 64 dB(A) |
| 重量（含支架和標準電機） | 470 kg/1,034 lbs |
| 制程連接，進氣口 | 3?/DN80 ANSI/DIN |
| 制程連接，出口 | 2?/DN50 ANSI/DIN |
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